Die vakuumbedekkingsmasjien op die pompstelsel het die volgende basiese vereistes:
(1) Die bedekkingsvakuumstelsel moet 'n voldoende groot pomptempo hê, wat nie net die gasse wat vrygestel word uit die substraat en verdampte materiale en die komponente in die vakuumkamer tydens die bedekkingsproses vinnig moet uitpomp nie, maar ook die gasse wat vrygestel word uit die verstuiwings- en ioonbedekkingsproses, sowel as die gaslekkasie van die verstuiwings- en ioonbedekkingsproses en die stelsel, vinnig moet kan uitpomp.
Die gaslekkasie tydens verstuiwing en ioonbedekkingsprosesse kan ook vinnig verwyder word. Om die produktiwiteit van die bedekkingsmasjien te verbeter, moet dit vinnig kan werk.
(2) Die uiteindelike vakuum van die bedekkingsmasjien se pompstelsel moet verskil volgens die vereistes van verskillende films. Tabel 7-9 is die reeks vakuumgrade wat vereis word deur die bedekkingsproses van verskillende films.
(3) In die oliediffusiepomp as die hoofpomppompstelsel, moet die pomp se olieterugvoertempo so klein as moontlik wees, omdat die terugkerende oliedamp die oppervlak van die werkstuk sal besoedel en die kwaliteit van die film sal laat afneem. Aangesien die kwaliteitsvereistes vir die film veral hoog is in die bedekkingsproses, is dit die beste om 'n olievrye pompstelsel te gebruik. Wanneer die oliediffusiepomppompstelsel gebruik word, moet die adsorpsievanger, kouevanger en ander komponente in die pompinlaat ingestel word, en moet aandag gegee word aan die geleidingsvermoë van die komponente om te verseker dat die vakuumstelsel die maksimum pompspoed handhaaf.
(4) Die lekkasietempo van die vakuumbedekkingskamer en sy pompstelsel moet klein wees, d.w.s. selfs al is dit 'n spoorgaslekkasie, sal dit die kwaliteit van die film beïnvloed. Daarom, om die verseëlingsprestasie van die stelsel te verseker, moet die totale lekkasietempo van die stelsel tot die toelaatbare reeks beperk word.
(5) Die werking, gebruik en onderhoud van die vakuumstelsel moet gerieflik, stabiel en betroubaar wees.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 14 Desember 2023